ガラス基板搬送用カセットをシンプルに
位置決めするステージユニット。
クリーンルーム用位置決めステージ

ILS型〈特許取得済み〉〈Patented〉

■概要
主にガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。
滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、コンパクトにもかかわらず大きい荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。
また、可動部をホールドさせることができるSタイプやその他昇降式タイプもご用意しております。

フリータイプ

コラム

ILS-150

ILS-150
自重:1.5kg
可動距離:±15mm
使用荷重:150kgf
 

 

Draft:ILS-150
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304
スプリング復帰式

コラム

ストッパータイプ

コラム

ILS-30S-40

ILS-30S-40
自重:0.4kg
可動距離:±5mm
使用荷重:30kgf
推奨エアー圧:0.4MPa~0.6MPa

 

Draft:ILS-30S-40
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:UHMWPE
スプリング復帰式

ILS-30S-60

ILS-30S-60
自重:0.6kg
可動距離:±5mm
使用荷重:30kgf
推奨エアー圧:0.4MPa~0.6MPa

 

Draft:ILS-30S-60
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:UHMWPE
スプリング復帰式

ILS-150S

ILS-150S
自重:1.8kg
可動距離:±15mm
耐荷重:150kgf
推奨エアー圧:0.4MPa~0.6MPa

 

Draft:ILS-150S
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304
ストッパー解除時真空引き

ILS-150S-S20

ILS-150S-S20
自重:2.2kg
可動距離:±20mm
使用荷重:150kgf
推奨エアー圧:0.4MPa~0.6MPa

 

Draft:ILS-150S-S20
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304+ESD UHMWPE
スプリング復帰式

ILS-350S-S25

ILS-350S-S25
自重:2.8kg
可動距離:±25mm
使用荷重:350kgf
推奨エアー圧:0.4MPa~0.6MPa

 

Draft:ILS-350S-S25
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304
スプリング復帰式

ILS-500S

ILS-500S
自重:3.9kg
可動距離:±30mm
使用荷重:500kgf
推奨エアー圧:0.4MPa~0.6MPa

 

Draft:ILS-500S
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304+ESD UHMWPE
スプリング復帰式

ILS-800S

ILS-800S
自重:12.3kg
可動距離:±50mm
使用荷重:800kgf
推奨エアー圧:0.4MPa~0.6MPa

 

Draft:ILS-800S
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304
スプリング復帰式

コラム

昇降式フリータイプ

コラム

ILS-350-H10

ILS-350-H10
自重:4.1kg
水平ストローク:±20mm
昇降ストローク:10mm
使用荷重:350kgf
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304+ESD UHMWPE

 

Draft:ILS-350-H10
 
推奨使用エアー圧 / リフト能力
0.4MPa = 314kg
0.5MPa = 392kg
0.6MPa = 417kg
 
スプリング復帰式

コラム

昇降式ストッパータイプ

コラム

ILS-350S-H10

ILS-350S-H10
自重:4.2kg
水平ストローク:±20mm
昇降ストローク:10mm
使用荷重:350kgf
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304+ESD UHMWPE

 

Draft:ILS-350S-H10
 
推奨使用エアー圧 / リフト能力
0.4MPa = 314kg
0.5MPa = 392kg
0.6MPa = 417kg
 
スプリング復帰式

コラム



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