ガラス基板搬送用カセットをシンプルに
位置決めするステージユニット。
クリーンルーム用位置決めステージ

ILS型〈特許取得済み〉〈Patented〉

■概要
各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。
G7、G8級に対応した大型タイプや、従来規模の製造ライン改善用に対応した小型タイプなど、世界的な採用が拡大しています。滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、ボールベアーを採用した従来機に比べ、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。
位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。また、可動部をホールドさせることができるSタイプもご用意しております。

コラム

ILS-150

ILS-150
自重:1.5kg
可動距離:±15mm
耐荷重:150kgf
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304

 

Draft:ILS-150

ILS-150S

ILS-150S
自重:1.8kg
可動距離:±15mm
耐荷重:150kgf
推奨エアー圧:0.2MPa (2 kgf/cm^2)
ケース:アルミ+アルマイト処理
取付フランジ:アルミ+アルマイト処理
可動ステージ:SUS304

 

Draft:ILS-150S

コラム


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