ILS-150
- 自重
- 1.5kg
- 水平ストローク
- ±15mm
- 使用荷重
- 150kgf
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304
- その他
- スプリング復帰式
クリーンルーム用イグチベアー
ILS型
カタログダウンロード概要
スムースな動作を実現した可動ステージ。
ILS型可動ステージはスムースな動作と高い耐荷重性能を持ち、ガラス基板搬送用のカセットなどワークの位置決め用途に適しています。任意の位置で可動ステージをホールドすることが出来るタイプや、ステージの高さを調節できる昇降式タイプもラインナップ。
導入事例
製品一覧
フリータイプ
ストッパータイプ
ILS-30S-40
- 自重
- 0.4kg
- 水平ストローク
- ±5mm
- 使用荷重
- 30kgf
- 推奨エアー圧
- 0.4MPa～0.6MPa
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- UHMWPE
- その他
- スプリング復帰式
ILS-30S-60
- 自重
- 0.6kg
- 水平ストローク
- ±5mm
- 使用荷重
- 30kgf
- 推奨エアー圧
- 0.4MPa～0.6MPa
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- UHMWPE
- その他
- スプリング復帰式
ILS-150S
- 自重
- 1.8kg
- 水平ストローク
- ±15mm
- 耐荷重
- 150kgf
- 推奨エアー圧
- 0.4MPa～0.6MPa
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304
- その他
- ストッパー解除時真空引き
ILS-150S-S20
- 自重
- 2.2kg
- 水平ストローク
- ±20mm
- 使用荷重
- 150kgf
- 推奨エアー圧
- 0.4MPa～0.6MPa
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304+UHMWPE
- その他
- スプリング復帰式
ILS-350S-S25
- 自重
- 2.8kg
- 水平ストローク
- ±25mm
- 使用荷重
- 350kgf
- 推奨エアー圧
- 0.4MPa～0.6MPa
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304
- その他
- スプリング復帰式
ILS-500S
- 自重
- 3.9kg
- 水平ストローク
- ±30mm
- 使用荷重
- 500kgf
- 推奨エアー圧
- 0.4MPa～0.6MPa
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304+UHMWPE
- その他
- スプリング復帰式
ILS-800S
- 自重
- 12.3kg
- 水平ストローク
- ±50mm
- 使用荷重
- 800kgf
- 推奨エアー圧
- 0.4MPa～0.6MPa
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304
- その他
- スプリング復帰式
昇降式フリータイプ
ILS-350-H10
- 自重
- 4.1kg
- 水平ストローク
- ±20mm
- 昇降ストローク
- 10mm
- 推奨使用エアー圧 / リフト能力
- 0.4MPa = 314kg
0.5MPa = 392kg
0.6MPa = 417kg
- 使用荷重
- 350kgf
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304+UHMWPE
- その他
- スプリング復帰式
昇降式ストッパータイプ
ILS-350S-H10
- 自重
- 4.2kg
- 水平ストローク
- ±20mm
- 昇降ストローク
- 10mm
- 使用荷重
- 350kgf
- 推奨使用エアー圧 / リフト能力
- 0.4MPa = 314kg
0.5MPa = 392kg
0.6MPa = 417kg
- ケース
- アルミ+アルマイト処理
- 取付フランジ
- アルミ+アルマイト処理
- 可動ステージ
- SUS304+UHMWPE
- その他
- スプリング復帰式
